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(3)²¢×°¾Ö²¿½à¾»ÊÒ(Clean Spot)£º½«½à¾»Êҵȼ¶10,000~100,000Ö®ÂÒÁ÷½à¾»ÊÒÄÚÖ®²úÆ·ÖƳÌÇøµÄ½à¾»¶ÈµÈ¼¶Ìá¸ßΪ10~1000¼¶ÒÔÉÏ£¬ÒÔΪÉú²úÖ®Óã»FFU£¬¸ßЧËÍ·ç¿Ú£¬½à¾»¹¤×÷̨¡¢ÎÞ³¾³µ¼ä¡¢½à¾»Åзç¹ñ£¬·çÁÜÊÒ£¬²ãÁ÷´«µÝ´°£¬²ãÁ÷³µ¼´Êô´ËÀà¡£