各国洁净室（区）空气洁净度级别表
|
洁净度级别
|
尘粒最大允许数/立方米
≥0.5μm尘粒数
|
≥5μm尘粒数
|
微生物最大允许数
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
|
100级
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
|
10,000级
|
350，000
|
2，000
|
100
|
3
|
|
100，000级
|
3，500，000
|
20，000
|
500
|
10
|
|
300，000级
|
10，500，000
|
60，000
|
1000
|
15
|
|
空气洁净
度等级(N)
|
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）
|
|||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1.0um
|
5.0um
|
|
|
ISO Class1
|
10
|
2
|
||||
|
ISO Class2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
ISO Class3
|
1,000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
832
|
29
|
|
ISO Class6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320
|
293
|
|
ISO Class7
|
352,000
|
83,200
|
2,930
|
|||
|
ISO Class8
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
|||
|
ISO Class9
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000
|
|||
|
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
|
||||||
各国洁净度等级近似对照表
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个/M≥0.5um
|
ISO
14644-1(1999)
|
US
209E(1992)
|
US
209D(1988)
|
EEC
cGMP(1989)
|
FRANCE
AFNOR(1981)
|
GERMANY
VDI 2083(1990)
|
JAPAN
JAOA(1989)
|
|
1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3.5
|
2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
0
|
2
|
|
10.0
|
–
|
M1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
35.3
|
3
|
M1.5
|
1
|
–
|
–
|
1
|
3
|
|
100
|
–
|
M2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
353
|
4
|
M2.5
|
10
|
–
|
–
|
2
|
4
|
|
1,000
|
–
|
M3
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3,530
|
5
|
M3.5
|
100
|
A+B
|
4,000
|
3
|
5
|
|
10,000
|
–
|
M4
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
35,300
|
6
|
M4.5
|
1,000
|
1,000
|
–
|
4
|
6
|
|
100,000
|
–
|
M5
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
353,000
|
7
|
M5.5
|
10,000
|
C
|
400,000
|
5
|
7
|
|
1,000,000
|
–
|
M6
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3,530,000
|
8
|
M6.5
|
100,000
|
D
|
4,000,000
|
6
|
8
|
|
10,000,000
|
–
|
M7
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
|
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m?)
|
||||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
|
1
|
10
|
2
|
||||
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
4（十级）
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
|
5（百级）
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
6（千级）
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
|
7（万级）
|
352000
|
83200
|
2930
|
|||
|
8（十万级）
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|||
|
9（一百万级）
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
|||
概述
空气洁净度等级（air cleanliness class）：洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。
测试
一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试
（一）空态、静态测试
空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。
（二）动态测试
洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
二、空态、静态测试
（一）测试前的准备
1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处，可以2-4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。
（二）测试内容
1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；
2. 洁净室压力值；
3. 层流洁净室断面风速和气流流向；
4. 洁净工作区的洁净度；
5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试；
6. 洁净室内噪声。
（三）洁净工作区空气洁净度的测试方法
对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法，也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法：
1. 光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。1,000级-10,000级：每次采样量大于或等于0.3升。100,000级：每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试；如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
2. 采样注意事项：
①采样管必须干净，连接处严禁渗漏。
②采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。
③采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
④采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
3. 测点布置：
①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米。
②层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5-2.0米，粒径大于或等于0.5μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点（附图2）。每增加20-50平方米，增加3-5个测点。
4. 数据整理：
①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。
②对于大于或等于0.5μm的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。
（四）正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。
三、动态测试
在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。
